Pluto+ - Plasma and Optical Technologies: Increasing the Quality and Yield of Optical Coating Technologies
Plasmas find multiple applications in research and industry. They are used to coat or modify surfaces in the manufacture of microsystems, in semiconductor technology, for lab-on-chip production and in many other areas. An important aspect for the different manufacturing processes is the reproducibility of the process flow with desirable in-situ control. In the 'PluTO' project, which was also funded by the Federal Ministry of Education and Research, the multipole resonance probe for determining plasma density was developed. The aim of the BMBF follow-up project 'PluTO+' is to optimize the multipole resonance probe for everyday production and to further develop and miniaturize the measuring system.
Project duration: 2014 - 2018
Pluto+ - Plasma und optische Technologien: Erhöhung der Qualität und Ausbeute optischer Beschichtungstechnologien
Plasmen finden vielfache Anwendungen in Forschung und Industrie. Zur Beschichtung oder Modifizierung von Oberflächen werden Sie bei der Herstellung von Mikrosystemen, in der Halbleitertechnologie, zur Lab-on-Chip Produktion sowie in vielen anderen Bereichen eingesetzt. Ein wichtiger Aspekt für die unterschiedlichen Herstellungsprozesse ist die Reproduzierbarkeit des Prozessablaufes mit wünschenswerter in-situ Kontrolle. Im Projekt ‘PluTO‘, welches ebenso durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert wurde, konnte die Multipolresonanzsonde zur Bestimmung der Plasmadichte entwickelt werden. Das Ziel des BMBF-Nachfolgeprojektes ‘PluTO+‘ ist die Optimierung der Multipolresonazsonde für den Produktionsalltag sowie die Weiterentwicklung und Miniaturisierung des Messsystems.
Projektlaufzeit: 2014 - 2018
