RUBIN: Im Reinraum

16.07.2014 - Meike Klinck

rubin Einen Einblick in die Arbeit am Lehrstuhl für Werkstoffe und Nanoelektronik geben zwei Beiträge in der neuen Ausgabe des Wissenschaftsmagazin RUBIN. Das Team um Prof. Ulrich Kunze optimiert die Produktionsverfahren von Chips, die auf den Halbleitermaterialien Silizium und Galliumarsenid basieren. RUBIN beschreibt die Produktionskette und den Arbeitsalltag im Reinraum.

Foto: Verspiegelte Sicht ins Labor mit mehreren Aufdampfanlagen. © RUBIN, Foto: Nelle

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